新MEMS喷墨单芯片-明基开发成功

明基近日发布了新一代MEMS集成喷墨单芯片产品，这是公司自2005年以来实施工业局前瞻应用引领新产品计划的研究成果。随着新一代产品开发的完成，明基希望为打印机ODM OEM开拓更多的商机。明基电通公司前瞻技术中心微流控技术R&D部副经理曾凡忠介绍，明基从2000年开始研发第一代喷墨单片，2003年完成第一台六色打印，2004年开始量产墨盒和喷墨打印机。他指出，第一代产品设计采用了背喷式架构，该架构已应用于包括CM3500/3700在内的公司多功能商务机。然而，由于这种架构是在2000年建立的，所以规范有点旧。为了进一步提高性能和成本竞争力，方便于2005年7月申请经济部工业局前瞻应用领先新产品计划，启动第二代芯片的研发，希望提供更细微的墨滴输出和高频操作频率。曾凡忠表示，无论是第一代还是第二代产品，公司最初研发喷墨头芯片时，采用的是集成MEMS和MOS驱动电路技术的单一石化喷墨单片架构，不同于市场上一些厂商采用MEMS和CMOS分别制造，然后组装在一起的方式。对比第一代和第二代的规格，曾繁忠表示，在液滴体积上，从5.5pl降到4pl，工作频率从18KHz提高到24KHz。此外，由于四色喷嘴全部设计在单个芯片上，因此喷嘴数量从432个大幅增加到960个，整个吞吐量从每秒780万个墨滴增加到2300万个，整体效率大幅提升。曾梵忠指出，第二代架构改进了之前的背喷设计，采用了先在表面涂覆一层牺牲层，再用干法刻蚀技术挖出墨腔的方法。这个21个月的计划工业局补贴了2000万，明基却投了5800万。除了完成产品研发，希望带来新的商机，在研究成果方面，明基在国内外发表了8篇论文，申请了22项国内专利。曾凡忠指出，目前明基不打算用这种喷头来开发自有品牌打印机产品，而是先专注于ODM代工业务。他说，从2002年开始，公司第一代喷头已经为品牌厂商代工了15款左右，出货量已经达到1000万台。新喷墨头开发完成后，我们已经开始与日本厂商洽谈OEM业务。谈到国内MEMS产业，曾繁忠也表示，其实国内MEMS产业的规模和能力都比较弱。目前其喷墨头芯片由亚太优势(APM)代工，他也希望通过这样的分工合作模式，共同提升国内MEMS产业的竞争力。针对近期消费市场MEMS应用的趋势，曾凡忠还指出，明基微流控技术R&D部门有20人左右，除了喷墨头的技术开发，还将开始研究MEMS加速度计的开发。来源:EETTaiwan